詳細(xì)介紹
日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術(shù),使其低電壓性能大大提升,同時(shí)升級(jí)的高靈敏度背散射探測(cè)器和可變壓力探測(cè)器使得SU3800的觀察能力進(jìn)一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報(bào)告導(dǎo)出等功能,使其操作也變得更為簡(jiǎn)單。
主要特點(diǎn):
· HexBias偏壓鎢燈絲電子槍;
· 優(yōu)異的高、低電壓性能;
· 高靈敏度五分割背散射電子探測(cè)器;
· 可變壓力二次電子探測(cè)器(高、低真空可用);
· 全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能;
· 全自動(dòng)燈絲設(shè)定和合軸;
· 報(bào)告導(dǎo)出和圖片處理;
· 可集成的EDS;
· 簡(jiǎn)單方便的維護(hù)(燈絲更換視頻);
應(yīng)用領(lǐng)域: 材料科學(xué)、生命醫(yī)學(xué)、食品衛(wèi)生、半導(dǎo)體電子元器件、汽車制造等。
主要參數(shù):
*選配
主要特點(diǎn):
· HexBias偏壓鎢燈絲電子槍;
· 優(yōu)異的高、低電壓性能;
· 高靈敏度五分割背散射電子探測(cè)器;
· 可變壓力二次電子探測(cè)器(高、低真空可用);
· 全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能;
· 全自動(dòng)燈絲設(shè)定和合軸;
· 報(bào)告導(dǎo)出和圖片處理;
· 可集成的EDS;
· 簡(jiǎn)單方便的維護(hù)(燈絲更換視頻);
應(yīng)用領(lǐng)域: 材料科學(xué)、生命醫(yī)學(xué)、食品衛(wèi)生、半導(dǎo)體電子元器件、汽車制造等。
主要參數(shù):
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
加速電壓 | 0.3kV – 30kV |
分辨率 | 3.0nm@30kV (SE) |
15.0nm@1kV (SE) | |
4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
放大倍率 | 5x – 300,000x(底片倍率) |
7x – 800,000x(顯示器倍率) | |
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器,高靈敏度無分割背散射電子探測(cè)器 |
可變壓力探測(cè)器UVD 2.0* | |
低真空可變壓力范圍 | 6 – 650Pa |
樣品臺(tái)(三軸馬達(dá)) | X: 0 - 100 mm |
Y: 0 – 40 mm | |
Z: 5 – 65 mm | |
R: 0 – 360° | |
T: -20° - +90° |