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詳細介紹
*產(chǎn)品信息僅供參考，型號和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時更改
規(guī)格：
型號 | RA-H5200AS | RA-H5200AH | ||
旋轉(zhuǎn)工作臺 | 旋轉(zhuǎn)精度(JIS B 7451-1997) | 徑向 | (0.02+3.5H/10000)μm H: 為測量高度 (mm) | |
軸向 | (0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋轉(zhuǎn)工作臺軸的距離 (mm) | |||
旋轉(zhuǎn)速度 | 2, 4, 6, 10rpm (自動定心: 20rpm) | |||
工作臺有效直徑 | Φ300mm | |||
調(diào)心范圍 | ±5mm | |||
調(diào)水平范圍 | ±1° | |||
臺面承重 | 小于80kg (自動定心: 65kg) | |||
測量直徑 | 小于Φ400mm | |||
工件直徑 | 小于Φ680mm | |||
垂直移動 | 移動直線度(λc2.5) | 窄范圍 | 0.05μm/100mm | |
寬范圍 | 0.14μm/350mm | 0.2μm/550mm | ||
與轉(zhuǎn)臺軸平行度(母線要素基準) | 0.2μm/350mm | 0.32μm/550mm | ||
水平移動(從工作臺上部) | 350mm | 550mm | ||
定位速度 | 小于60mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s) | |||
檢測高度 | 350mm | 550mm | ||
檢測深度 (使用標準測頭) | Φ32×85mm (深度) | |||
Φ7×50mm (深度) | ||||
X軸 | 直線度 (λc2.5) | 0.4μm/200mm | ||
與轉(zhuǎn)臺軸垂直度 (母線要素基準) | 0.5μm/200mm | |||
移動范圍 | 225mm (–25mm ~ +200mm 從旋轉(zhuǎn)中心) | |||
定位速度 | 小于50mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s) | |||
檢出器 | 測力 | 約 10 - 50mN, 1 - 5 級 | ||
標準測桿, 材質(zhì) | Φ1.6mm 硬質(zhì)合金 | |||
范圍 | 標準 | ±400μm/±40μm/±4μm | ||
追蹤 | ±5mm | |||
其他 | 帶IN/OUT切換功能、測力切換功能(5級切換)、測桿角度指示 | |||
(±45o),Z軸方向沖擊探測功能、帶滑動式檢出器(3姿勢規(guī)格) | ||||
其他 | 氣壓 | 0.39MPa | ||
空氣消耗量 (標準狀態(tài)) | 45L/min (120L/min 以上氣源) | |||
重量 | 測量主體 | 650kg | 670kg | |
防震臺架 | 170kg | |||
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