制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
納米壓印系統(tǒng)
型號(hào)：MicroTec
廠家：德國Karl Suss
技術(shù)指標(biāo):
壓印精度：30nm
重復(fù)性：±10nm（pitch）
±15nm（depth）
晶圓尺寸：2”, 4’’
模具尺寸：6’’
脫模方式：真空順序脫模
主要功能及應(yīng)用范圍： 采用氣體軟壓技術(shù)，壓印均一性與一致性良好。典型使用領(lǐng)域：光子晶體、亞波長光學(xué)器件、OLED、生物微溝道、有機(jī)薄膜晶體管、漸變折射率層等。
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