詳細(xì)介紹
特 點(diǎn):
·臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu),采用Icr17高導(dǎo)磁不銹鋼·隔振材料采用精密型專業(yè)阻尼減振器和國(guó)標(biāo)級(jí)阻尼隔振墊·固有頻率最小可達(dá)3Hz,減震性能強(qiáng)·可根據(jù)客戶需求定制異型(L字型、T字型、V字型等)精密光學(xué)平臺(tái)
主要參數(shù):
·平面度不大于0.05mm/㎡·表面粗糙度小于0.8um~1.6um·固有頻率3Hz~6Hz·振幅不大于5um·重復(fù)定位精度+0.05mm