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LW400JT 金相顯微鏡

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更新時(shí)間:2024-04-24 09:40:04瀏覽次數(shù):237

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儀器用途:LW400JT適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤(pán)的生產(chǎn)工藝檢查;也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查

詳細(xì)介紹

儀器用途:

LW400JT適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤(pán)的生產(chǎn)工藝檢查;也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查。

性能特點(diǎn)

1、 配置大視野目鏡和長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)。

2、配置移動(dòng)載物臺(tái)

3、粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:2μm。

4、6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)。

5、三目鏡筒,可切換正常觀(guān)察與偏光觀(guān)察,可進(jìn)行透光攝影。


主要技術(shù)參數(shù):

1、三目鏡筒:傾斜30 °,瞳距55mm-75mm,視度±5°

2、目鏡:WF10X/18mm

3、長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)

PL 5X/0.12 、PL L10X/0.25 、PL L20X/0.40

PL L40X/0.60 、PL L80X/0.8

4、總放大倍數(shù):50X-800X

5、載物臺(tái):尺寸: 280mm×270mm,移動(dòng)范圍: 204mm×204mm

6、調(diào)焦:粗微動(dòng)同軸 升降范圍25mm

微動(dòng)格值0.002mm

7、反射光 源:12V20W亮度可調(diào),落射照明器帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃

8、正交偏光裝置


1、目鏡:WF16X/11mm,WF20X/9mm,

10X帶尺可調(diào)目鏡

2、長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)

PL L 50X/0.70、 PL L 60X/0.75 (彈簧)、 PL L 100X/0.85 (彈簧)

平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片): PL 100X/1.25 (彈簧,油)

3、成像系統(tǒng):數(shù)碼攝像頭500萬(wàn)、800萬(wàn)、1600萬(wàn)相素
4、測(cè)量軟件,金相分析軟件等


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