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正置金相顯微鏡BX53M

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更新時(shí)間:2021-07-20 22:51:06瀏覽次數(shù):428

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產(chǎn)品簡介

正置金相顯微鏡BX53M產(chǎn)品介紹:*系統(tǒng)化模塊化的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置,以滿足用戶的各種要求

詳細(xì)介紹

    正置金相顯微鏡BX53M產(chǎn)品介紹:

    *系統(tǒng)化
    模塊化的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置,以滿足用戶的各種要求。

    LED照明
    BX53M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。無論強(qiáng)度是多少,LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長壽命的照明,是材料學(xué)檢測(cè)應(yīng)用的理想工具。



    • BX53M反射和反射/透射觀察機(jī)架
    BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架,一種僅用于反射光,一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件,并且都配備有ESD防靜電功能。

    BX53M同時(shí)配備了一個(gè)適配器,以抬升照明器,適應(yīng)更高的樣品。



    機(jī)架組合圖號(hào)可用于反射光可用于透射光樣品高度
    BX53MRF-S 1yesno0-65 mm
    BX53MTRF-S 2yesyes0-35 mm
    BX53MRF-S + BX3M-ARMAD 1、3yesno40-105 mm
    BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD 2、3yesyes40-75 mm





    • 顯微鏡支架
    顯微鏡檢查時(shí)如果樣品不適合放在載物臺(tái)上,可以在更大的支架上或其它設(shè)備上安裝照明器和光學(xué)元件。


    • 鏡筒
    使用目鏡進(jìn)行顯微鏡成像,或通過相機(jī)觀察時(shí),請(qǐng)根據(jù)觀察過程中的成像 類型和操作者的觀察姿勢(shì)選擇鏡筒。


    FN類型角度類型圖像屈光度調(diào)節(jié)裝置數(shù)
    1U-BI30-222雙目固定式倒像1
    2U-TBI-322雙目傾斜式倒像1
    3U-TR30-222三目固定式倒像1
    U-TR30IR22IR用三目固定式倒像2
    U-ETR-422三目固定式正像2
    U-TTR-222三目傾斜式倒像2
    U-SWTR-326.5三目固定式倒像2
    U-SWETTR-526.5三目傾斜式正像2
    U-TLU22單口鏡筒
    U-TLUIR22IR用單口鏡筒



    • 照明器
    照明器根據(jù)選擇的觀察方法將光線投射到樣品上。軟件與編碼照明器配套 使用,可以讀出分光鏡組件的位置,并自動(dòng)識(shí)別觀察方法。



    編碼功能光源BFDFDICPOLIRFL混合AAS/FS
    1BX3M-RLAS-S3個(gè)固定式分光鏡組件位 置LED-內(nèi)置yesyesyesyes yesyes
    2BX3M-URAS-S4個(gè)可換裝的分光鏡組件位置LEDyesyesyesyes yesyes
    鹵素?zé)?/td>yesyesyesyesyes yesyes
    汞燈/光導(dǎo)yesyesyesyes yesyesyes
    3BX3M-RLA-S LEDyesyesyesyes yesyes
    鹵素?zé)?/td>yesyesyesyesyes yesyes
    4BX3M-KMA-S LED-內(nèi)置
    yes yesyes yes
    5BX3-ARM透射光觀察專用鏡臂
    6U-KMAS LEDyes yesyes yes
    鹵素?zé)?/td>yes yesyesyes yes

    • 光源









    • 物鏡轉(zhuǎn)換器
    物鏡和滑塊的附件。選擇所需的物鏡數(shù)量和類型;以及是否帶滑塊附件。
    • 滑塊
    選擇DIC滑塊來補(bǔ)充常規(guī)的明場(chǎng)觀察。采用DIC滑塊后,在獲取有關(guān)樣品 的形貌信息時(shí),可以選擇高對(duì)比度型或高分辨率型。MIX組合式照明使用 起來非常靈活,它在暗場(chǎng)光路中提供了分區(qū)的LED光源。

    • BX53M IR觀察
    IR物鏡可用于透過硅材料成像,進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測(cè)量。配備了5倍到100倍紅外(IR)物鏡,提供了從可見光波長到近紅外的像差校正。對(duì)于高放大倍率的物鏡,配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡,校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差。使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。

    物鏡放大倍率NA(數(shù)值孔徑)WD(mm)蓋玻片厚度(mm)硅厚度(mm)分辨率(um)(孔徑光闌全開)
    LMPLN-IR5X0.1230~0.17_6.71
    10X0.3180~0.17_2.24
    LCPLN-IR
    (適合FN22,不適合FN26.5)
    20X0.458.30~1.20~1.21.49(使用1100mm波長)
    50X0.654.50~1.20~1.21.03(使用1100mm波長)
    100X0.851.20~0.070~1.00.79(使用1100mm波長)
    無校正環(huán)物鏡觀察效果有校正環(huán)物鏡觀察效果

    • BX53M偏光觀察
    詳見BX53P偏光顯微鏡介紹。
    • BXFM系統(tǒng)
    BXFM適合于特殊應(yīng)用,或整合進(jìn)其它儀器中。模塊化結(jié)構(gòu),再加上各種特殊的小型照明器和固定裝置,使其可以直接用于*的環(huán)境和配置。


    正置金相顯微鏡BX53M基本參數(shù):


    正置金相顯微鏡BX53M產(chǎn)品應(yīng)用:

    反射光顯微鏡檢查涵蓋的應(yīng)用和行業(yè)非常廣泛,下面僅選擇了使用不同觀察方法效果的部分示例。

    暗場(chǎng)觀察表面貼裝基板:DF
    暗場(chǎng)能夠觀察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì)反射這種光,而平整的部位則顯得很暗,因此缺陷部位就會(huì)清晰地顯示出來。用戶甚至可以識(shí)別出極細(xì)微的劃痕,或小到8nm級(jí)別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。
    因此,暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷,以及鏡面標(biāo)本(包括晶圓)的理想工具。
    微分干涉觀察球墨鑄鐵檢測(cè):DIC
    微分干涉是一種顯微鏡觀察技術(shù),這種技術(shù)把明場(chǎng)觀察所不能檢測(cè)到的標(biāo)本高度差,變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像,改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光,并有三種專門定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具,包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質(zhì)和拋光晶圓表面。

    熒光觀察半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物:FL
    該技術(shù)用于通過專用濾色片激發(fā)塊照明,使標(biāo)本能夠發(fā)出熒光(發(fā)出不同波長的光),特定的激發(fā)塊可用于特定的應(yīng)用。它適合于檢查半導(dǎo)體晶圓上的異物、光阻殘留物,以及通過熒光染料檢測(cè)裂縫。可以選配復(fù)消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱,以補(bǔ)償從可見光到近紅外光的色差。
    紅外光觀察電極切片:IR
    IR觀察是非破壞性地檢查可以透過紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。

    透射光觀察LCD彩色濾光片:TLBF+HDR
    對(duì)于透明樣品,比如LCD、塑料和玻璃材料,可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀察。組建一個(gè)光學(xué)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)透射光明場(chǎng)和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。

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