GSL-1100X-XX-S2是一款雙溫區(qū)的大口徑管式爐,爐管兩端安裝有鉸鏈?zhǔn)讲讳P鋼密封法蘭。此款管式爐可廣泛地應(yīng)用于在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)材料進(jìn)行燒結(jié)或退火等熱處理。溫控方面,設(shè)備可達(dá)到溫度為1100℃,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃。
技術(shù)參數(shù)
名稱 | 1100℃大口徑雙溫區(qū)管式爐(6,8.5,11英寸管徑)GSL-1100X-XX-S2 | ||
產(chǎn)品提示 | 1、大體積設(shè)備提示 2、多種配件可選提示 | ||
設(shè)備型號(hào) | GSL-1100X-6-S2 | GSL-1100X-8.5--S2 | GSL-1100X-11-S2 |
高純石英管尺寸 | 規(guī)格1:152 OD×143 ID×1300L mm 規(guī)格2:152 OD×143 ID×1020L mm | 規(guī)格1:216 OD×206 ID×1300L mm 規(guī)格2:216 OD×206 ID×1020L mm | 規(guī)格1:279 OD×269 ID×1300L mm 規(guī)格2:279 OD×269 ID×1020L mm |
石英舟(可選) | 可兼容4”直徑基片
| 可兼容6”直徑基片
| 可兼容8”直徑基片 |
爐體結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃ 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵,設(shè)備使用時(shí)必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性) 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命) 該爐可作為退火或擴(kuò)散爐,可用于8”晶片放在對(duì)應(yīng)石英舟中 | ||
基本參數(shù) | 熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≦10℃/min 溫度:1000℃ (1100℃<1h) 電源:AC220,50HZ 功率:8KW | ||
加熱區(qū) | 規(guī)格1:加熱區(qū)長(zhǎng)度::600mm 雙溫區(qū):300mm+300mm 規(guī)格2:加熱區(qū)長(zhǎng)度::900mm 雙溫區(qū):450mm+450mm | ||
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命) | ||
密封法蘭 | 采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr 可選購(gòu)一套溫度測(cè)試裝置(鎧裝熱偶、補(bǔ)償導(dǎo)線和溫度儀表),用于測(cè)試爐管內(nèi)部的溫度 左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭 右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個(gè)kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭) | ||
溫控系統(tǒng) | 包含YD518P溫度控制器 PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) 智能化30段可編程控制 控溫精度:±1℃ 兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 通過MET認(rèn)證 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列 控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。 | ||
溫度校準(zhǔn)(可選) | 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的小校準(zhǔn)套件包括 48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準(zhǔn) 一Omega溫度校準(zhǔn)器 熱電偶補(bǔ)償線 你可以考慮分子泵,真空度可達(dá)10-5Torr | ||
外形尺寸 | 規(guī)格1:1880(L)×700(W)×930(H) mm 規(guī)格2:2180(L)×700(W)×930(H) mm | ||
凈重 | 約200Kg | ||
真空系統(tǒng) | 多種真空系統(tǒng)可選 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染
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使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) | ||
質(zhì)量認(rèn)證 | 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/ CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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應(yīng)用提示 | 如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭 為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用錢需要校準(zhǔn)溫度 | ||
質(zhì)保 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) | ||
免責(zé)聲明 | 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,科儀公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒。 |