OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐，其工作溫度可以達(dá)到1200℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐至多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。
技術(shù)參數(shù)
名稱 1200℃小型單溫區(qū)大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S 產(chǎn)品提示 1、危險(xiǎn)設(shè)備使用提示 2、配件妥善保管提示 主要特點(diǎn) 5英寸的石英管和鉸鏈法蘭，寬大的腔體可作為箱式氣氛爐用（避免了箱式爐爐膛污染問題）。 可用于四英寸基片退火。 可以作為模塊，DIY ALD CVD PVD蒸發(fā)爐 回轉(zhuǎn)爐等（具體請(qǐng)致電） 采用高純氧化鋁纖維材料作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率。 采用ABB電器元件。 基本參數(shù) 工作溫度：1100℃（<0.5小時(shí)） 連續(xù)工作溫度：1000℃ 建議加熱速率：≤10℃/min 加熱區(qū)長度：300mm 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 功率：3KW 電壓：AC220V 50Hz 爐體結(jié)構(gòu) 配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。 石英管口徑可選：130mm或100mm。 配有2個(gè)氧化鋁管堵，使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密性。 右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵。 真空度：10-2torr（采用機(jī)械泵）。 安裝有一機(jī)械壓力表，測量范圍為0.1~0.15MPa。 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。 帶有超溫和斷偶保護(hù)。 配置可選 可選購5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架 備注：鉸鏈法蘭 可選購數(shù)顯防腐真空計(jì) 可選購石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空 您可能需要在真空端部安裝一個(gè)手動(dòng)擋板閥 可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部，測量樣品的實(shí)際溫度 可選購歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃ 您可以訂購帶真空泵和溫度校準(zhǔn)套件的爐子 可選購MTS02-B控溫?？欤捎秒娔X設(shè)置和顯示溫度程序 外形尺寸 爐蓋關(guān)閉尺寸：440mm（長）×440(寬)×460(高) mm。 帶法蘭支撐（每個(gè)260mm）,總長：960mm(長)×440mm(寬)×460mm（高）。 爐蓋打開尺寸：440mm(長)×440mm（寬）×700mm（高）。 帶法蘭支撐（每個(gè)260mm）,總長：960mm（長）×650mm（寬）×700mm（高）。 溫度控制器單位：260mm(長)×350mm（寬）×410mm（高）。 凈重;48Kg。 實(shí)驗(yàn)室參考案例 科晶實(shí)驗(yàn)室用此設(shè)備做出的部分結(jié)果，以供您參考。 以下數(shù)據(jù)針對(duì)合肥科晶設(shè)備，不具有普遍性。如果您想了解詳細(xì)試驗(yàn)方法，請(qǐng)聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)索取詳細(xì)實(shí)驗(yàn)報(bào)告。 硅鋼退火 Nb205粉（未處理前）Nb205粉（處理后） 熱處理硅片 備注：以上數(shù)據(jù)僅供參考，更多數(shù)據(jù)請(qǐng)聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)室 可以吧法蘭對(duì)著操作者，作為箱式爐使用。 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加精確安全。 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 進(jìn)氣爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。 警示 不要將裝有溶液的容器放在儀器上，防止造成一起短路。 如需高溫取樣，請(qǐng)務(wù)必穿戴好安全裝置。 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，者需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻到泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 質(zhì)量認(rèn)證 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/ CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 質(zhì)保期 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 3.我們享有自主升級(jí)改造該爐子構(gòu)造的權(quán)利，努不另外通知。 免責(zé)聲明 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差。如果您對(duì)參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，科儀公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請(qǐng)您見諒。
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