1200度三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)特點(diǎn):
SGM 1200度三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)是集三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐、三路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)及低真空機(jī)組而成一種動(dòng)態(tài)狀態(tài)下的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。三溫區(qū)開啟式真空回轉(zhuǎn)管式爐采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu),爐體表面溫度≤60℃,爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型。加熱元件采用優(yōu)質(zhì)加熱電阻絲,電爐絲鑲嵌延長爐體使用壽命。
三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐具有三個(gè)溫區(qū),三個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立控溫,爐管可實(shí)現(xiàn)360度可調(diào)速旋轉(zhuǎn),大大的提高燒結(jié)粉末的均勻性。
1200度三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)主要用途:
1200度三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)可用于粉末樣品在高溫狀態(tài)下動(dòng)態(tài)燒結(jié)處理,配備磁流體密封裝置,使得整個(gè)設(shè)備處于真空狀態(tài)下工作。特殊樣品倉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),避免傳統(tǒng)回轉(zhuǎn)爐取樣等繁瑣操作,該真空回轉(zhuǎn)爐與氣路控制系統(tǒng)及真空構(gòu)成真空回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng),滿足樣品在真空或者氣氛條等多種實(shí)驗(yàn)條件下燒結(jié),工藝擴(kuò)展型好,重復(fù)性好。是專為高等院校﹑科研院所的實(shí)驗(yàn)室及工礦企業(yè)在高溫真空添加下處理粉末材料的理想設(shè)備。
1200度三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
名稱 | 規(guī)格 | 1200度開啟式三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng) |
三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐 | 爐管尺寸 | Φ60×1400mm 更多其他規(guī)格石英管可選(Φ50/60/80/100mm等) 配備特殊設(shè)計(jì)石英樣品倉,可將樣品倉整管取出,取放樣方便 |
主要參數(shù) | 額度溫度: 1200℃(使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變) 工作溫度: 1100℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長度: 300+300+300mm 額定功率:7KW 旋轉(zhuǎn)速度:0-13轉(zhuǎn)/min 額定電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz | |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層,額定限度節(jié)約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命 | |
溫控系統(tǒng) | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 控溫精度: ±1 ℃ K型熱電偶 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購) | |
溫控儀表(可選) | 標(biāo)配儀表品牌為宇電,可其他品牌溫控儀表,如島電等。 | |
管堵 | 多種規(guī)格管堵,防止來自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實(shí)驗(yàn)環(huán)境或者較高真空需求 | |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭) 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)(需另外訂購) 出氣端配備磁流體密封裝置,容許設(shè)備在連續(xù)真空條件下工作。 備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。 出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計(jì),以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣 | |
擴(kuò)展端口 | 如進(jìn)氣管道為橡膠軟管,則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
真空度 | 雙極旋片機(jī)械泵:10^-1Pa 分子泵機(jī)組:10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 | |
外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
凈重 | 40Kg | |
三路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) MFC-3Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質(zhì) | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm、200sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇) | |
工作溫度 | 5~45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
額定承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m3/h 極限真空度:10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接 | |
質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |
相關(guān)應(yīng)用 | 爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換(額外付費(fèi)) 可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子 | |
應(yīng)用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |