轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)設(shè)備是由洛陽(yáng)西格馬生產(chǎn)的可360度旋轉(zhuǎn)和0-30度傾斜的可傾斜管式爐PEcvd設(shè)備。混氣系統(tǒng)可選二路、三路、五路。
PEcvd可傾斜回轉(zhuǎn)爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，標(biāo)配30段程序控溫系統(tǒng)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫。該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)用的燒結(jié)設(shè)備產(chǎn)品。
轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品描述：
轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)可360度旋轉(zhuǎn)和0-30度傾斜，管內(nèi)壁有石英擋片幫助材料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)或鍍膜更加均勻。爐膛采用日本氧化鋁纖維材料。
轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
1、型號(hào)：SGM RTL1200-PECVD
2、爐管尺寸：Dia60(OD)X1400mm
3、加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲
4、額定溫度：1200℃
5、長(zhǎng)期溫度：1100℃
6、熱電偶：K型
7、加熱段：440mm
8、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)功率：40W
9、爐子傾斜角度：-10~30度
10、轉(zhuǎn)動(dòng)密封方式：采用轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體密封
11、視頻電源：功率輸出范圍0-500W
12、更大反射功率：10W
13、射頻電信號(hào)頻率：13.56MHZ±0.005%
14、功率：3.5KW
西格馬回轉(zhuǎn)爐結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
一、控溫儀表：采用宇電程序控溫儀表。（可選配日本島電，英國(guó)歐陸等品牌）
1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。（可選配50段程序儀表或液晶觸摸屏儀表）
2、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù)，過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路會(huì)自動(dòng)切斷，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。
3、帶有485通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配）
4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能。
二、開門保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者。
三、爐膛材料：采用氧化鋁多晶纖維材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。
四、加熱元件：采用優(yōu)良的加熱元件，溫場(chǎng)均衡、使用壽命長(zhǎng)。
五、漏電保護(hù)功能：該爐裝了漏電空氣開關(guān)，當(dāng)爐體漏電或電流超過(guò)額定電流時(shí)空開會(huì)自動(dòng)關(guān)閉以切斷電源。
六、軟件控制系統(tǒng)（選購(gòu)）：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。
七、控制系統(tǒng)：
1、電器：正泰，
2、可控硅：德國(guó)西門康106/16E，
3觸發(fā)器：移相觸發(fā)。
八、選配件：
1、50段程序控溫，
2、液晶觸摸屏控制器或溫度控制器
3、爐膛尺寸可定做
4、可增加進(jìn)氣、排氣閥門
5、爐膛材料可選材料6、可選UL認(rèn)證電器板
7、電器部分可選配ABB產(chǎn)品
8、可根據(jù)客戶需求定做各種非標(biāo)型號(hào)產(chǎn)品
采購(gòu)中心
