詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
VIF真空感應(yīng)熔煉爐
| 型號(hào) | VIF-2-D | |||
優(yōu)點(diǎn) | 這款設(shè)備可以做定向凝固爐使用,也可用于真空熔煉,做真空熔煉爐使用時(shí),只需將冷卻池蓋上即可 | ||||
棒料粗度 | Φ10mm、Φ20mm、Φ30mm、Φ40mm、Φ50mm | ||||
加熱溫度 | 1800度 | ||||
高頻加熱電源 | 采用電源 | 高頻感應(yīng)電源 | |||
振蕩頻率 | 30-80KHZ | ||||
輸入功率 | 25KW | ||||
加熱電流 | 2-52A | ||||
冷卻水要求 | ≥0.2MPa ≥6L/分 | ||||
電源重量 | 35KG | ||||
負(fù)載持續(xù)率 | 99% | ||||
輸入電壓 | 三相380V 50或60HZ | ||||
加熱方式 | 感應(yīng)加熱 | ||||
腔體內(nèi)直徑 | 500mm | ||||
腔體內(nèi)示圖 |
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腔體真空度(分子泵機(jī)組) | < 6X10 -4Pa | ||||
腔體充氣壓力 | < 0.05MPa | ||||
升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||||
斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
過(guò)溫保護(hù) | 有 | ||||
過(guò)流保護(hù) | 有 | ||||
欠壓保護(hù)(水壓) | 有 | ||||
控溫模式 | 智能PID | ||||
控制精度 | ±1~ 5 ℃(600度以上) | ||||
溫度檢測(cè)方式 | 鎢錸熱電偶 | ||||
技術(shù)方案 |
感應(yīng)線圈上放保護(hù)套,保護(hù)套內(nèi)放發(fā)熱體,發(fā)熱體內(nèi)放坩堝,坩堝安裝在定向凝固桿上,發(fā)熱體被感應(yīng)發(fā)熱,發(fā)熱體和冷卻池質(zhì)檢有個(gè)溫度梯度場(chǎng),坩堝內(nèi)的物料加熱熔化后隨著定向凝固桿慢慢下降,熔化的物料在這個(gè)均勻下降的溫度梯度場(chǎng)中晶格按一定的順序重新排列凝固,形成有序的晶體。 | ||||
定向凝固機(jī)構(gòu) |
定向凝固行程和速度,可通過(guò)左側(cè)觸摸屏控制,速度范圍在0.1μm/s~2000μm/s | ||||
真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝 | 可以 | ||||
觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||||
真空機(jī)組
| 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |||
波紋管 | KF40X1000 | ||||
真空擋板閥 | KF40 | ||||
前機(jī)真空泵BSV30
| 功率 | 0.75KW | |||
電壓 | 380V | ||||
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||||
前機(jī)泵抽氣速率(L/S) | 8 | ||||
極限壓強(qiáng) | 5X10 -1Pa | ||||
復(fù)合真空計(jì)
| 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | |||
電源 | 220V 55W | ||||
控制精度 | ± 1% | ||||
真空計(jì)測(cè)量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||||
二級(jí)泵 為分子泵 (方案一) | 分子泵 (可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa)
| 分子泵型號(hào) | FJ620 | ||
輸入電壓 | 220V | ||||
分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||||
分子泵抽氣速率L/S(對(duì)空氣) | 600 | ||||
分子泵極限壓強(qiáng)(Pa) | 6×10-7 | ||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||
冷卻水壓(MPa) | 0.1-0.2 | ||||
冷卻水溫度 | <25℃ | ||||
環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||||
建議啟動(dòng)壓強(qiáng) | <10Pa | ||||
| 二級(jí)泵為擴(kuò)散泵
(方案二) | 擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa) | 電壓 | 220V | |
功率 | 1000W | ||||
極限真空度(在無(wú)泄露時(shí)) | 10E-5Pa | ||||
進(jìn)氣接口 | DN150 | ||||
出氣接口 | DN40 | ||||
注入油量 | 0.3L | ||||
抽氣速率(N2) | 1000L/S | ||||
水冷機(jī)(選購(gòu)) HZ-03A
| 電源 | 3PH-380V/50HZ | |||
揚(yáng)程 | 40M | ||||
流量 | 16L/min | ||||
水箱容量 | 60L | ||||
制冷量 | 103Kcal/h | ||||
出入水口 | Rp1/2’’ | ||||
機(jī)器尺寸 | 1150×520×1145(長(zhǎng)X寬X高) |
一、設(shè)備特點(diǎn)
1、采用臥式爐體,側(cè)部開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),進(jìn)出料方便,爐體結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間較小。
2、可以50段程序控溫,控溫精確,可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長(zhǎng)。
4、安裝有觀察孔,可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測(cè)溫儀,可以精確的測(cè)量加熱套的溫度。
6、配有分子泵,真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機(jī),水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警,使用安全可靠。
8、采用IGBT電源,具有過(guò)溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長(zhǎng)。
二、結(jié)構(gòu)說(shuō)明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成 ,爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上,使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng),并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體:為全304不銹鋼結(jié)構(gòu),氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu),保證爐殼溫度不超過(guò)40℃。爐蓋采用前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),爐蓋打開(kāi)方式為手動(dòng),并加有鎖緊裝置,爐蓋上設(shè)有觀察孔,方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架:由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu),爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購(gòu)測(cè)溫元件時(shí)):溫控系統(tǒng)是由測(cè)溫系統(tǒng),溫控儀表組成,爐體上配有紅外測(cè)溫儀,把紅外測(cè)溫儀輸出的1-5V信號(hào)通過(guò)控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號(hào),控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率,這樣形成一個(gè)閉合回路,可以對(duì)爐子的升溫進(jìn)行編程控制,可以進(jìn)行50段程序控溫,控溫精度準(zhǔn)確,升溫速率可調(diào),并可以進(jìn)行恒溫,以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。