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6英寸近距離旋轉蒸發(fā)鍍膜爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱南京博蘊通儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地南京市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/11/7 11:04:42
  • 訪問次數(shù)174
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南京博蘊通儀器科技有限公司是在規(guī)定高校校辦企業(yè)與高校脫鉤的形勢下、在南京大學校辦工廠產權改制的情況下、由南京大學校辦工廠核心成員組建的一家專業(yè)從事電爐、球磨機研究和開發(fā)的生產型企業(yè)。 公司聘請了多名南京大學、東南大學、南京郵電大學、南京理工大學、河海大學等教授為指導,吸收了國外眾多品牌的優(yōu)點并結合自身多年產品設計開發(fā)經驗,先后研制出了多款外觀優(yōu)美、結構緊湊、功能強大的材料研發(fā)設備。其中真空熔煉爐、真空電弧爐、真空鎢絲爐、真空鉬絲爐、大型轉動管式爐、真空懸浮熔煉爐等設備已經達到了水平。公司產生的雙溫區(qū)雙翻蓋管式爐于2015年在南京航空航天大學生長出了世界上【硼烯】。其中的多款設備被耶魯、哈弗、斯坦福、新南威爾士等世界學府選用,在國內被 中科大微尺度國家實驗室、南京大學微結構國家實驗室、華中科技大學光電國家實驗室、華中科技大學煤燃燒國家重點實驗室、浙江大學硅材料國家重點實驗、中航工業(yè)北京材料研究院、中國航天集團空氣動力研究院、中科院物理所、中科院化學所、上海硅酸鹽研究所等學府及研究單位選用。 公司本著“、客戶“的宗旨,刻苦奮斗努力拼搏的精神,在生產過程中嚴格執(zhí)行國內外行業(yè)標準。使我們的產品遠銷歐美、加拿大、澳大利亞、印度、韓國、等世界各地,每年出口設備在500臺以上。公司總生產和銷售的設備超過1000臺。公司產品先后通過了ISO9000 、UL、CSA、CE等認證。全建立了一套完整的質量管理體系,產品質量具有可靠保證,物美價廉,是高校、科研院所、研發(fā)企業(yè)的產品。 公司堅持以客戶需求為導向,博采眾長、結合自身優(yōu)勢、蘊育通達,為客戶提供的產品。 熱忱歡迎新老客戶對我們的工作提出寶貴意見。 愿竭誠與廣大用戶、科研院所、業(yè)界同仁合作,共同發(fā)展。 我們只專注于電爐和球磨機。因為專注、所以專業(yè)。
真空爐
RTP-Ⅱ-CSS-150是一款6英寸近距離旋轉蒸發(fā)鍍膜爐,腔體采用高真空不銹鋼,此款設備可用于蒸發(fā)或CSS鍍膜實驗,氧化物、半導體或者太陽能基片退火實驗,其載樣臺尺寸為150,頂部載樣臺可以旋轉提高鍍膜均勻度
6英寸近距離旋轉蒸發(fā)鍍膜爐 產品信息

RTP-Ⅱ-CSS-150是一款6英寸近距離旋轉蒸發(fā)鍍膜爐,腔體采用高真空不銹鋼,此款設備可用于蒸發(fā)或CSS鍍膜實驗,氧化物、半導體或者太陽能基片退火實驗,其載樣臺尺寸為Φ150,頂部載樣臺可以旋轉提高鍍膜均勻度。此款高溫爐的加熱原件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部)。升溫速率是20℃/S

  CSS

 

 

 

 

      

型號

RTP-Ⅱ-CSS-150

視頻

溫度

 900℃

電源電壓

 AC三相380V

功率

 16KW

 

 

 

腔體結構和真空室

 

 

雙加熱器,兩個溫度控制器,可單獨控溫 

真空腔體采用304不銹鋼結構,正前方帶有直徑100mm的觀察窗 

真空法蘭由304不銹鋼制成 

法蘭由硅膠O型圈密封,可通過機械泵實現(xiàn)1Pa的真空壓力 

 

 

 

加熱器和樣品架

 

 

 

 

兩組短波紅外燈作為加熱原件,用于快速加熱 

 兩個加熱器之間的距離可在10~60mm之間調節(jié)

 上下加熱器之間配備擋板

 上加熱器可旋轉,轉速為0~30rpm

 加熱器由不銹鋼制成,帶有水冷夾套,可減少熱輻射并實現(xiàn)快速冷卻

 6英寸圓形晶圓支架內置頂部加熱器,可裝載基板

 采用導熱率較高的氮化鋁板陶瓷片(直徑6英寸×0.5mm厚)作為載樣臺,以達到較好的加熱均勻性

 兩個英國進口歐陸3204數(shù)字溫度控制器,控溫精度±1℃,可獨立控制頂部和底部加熱器

測溫方式

 兩根K型熱電偶,一根測上加熱臺,一根測下加熱臺

控溫方式 

采用歐陸3204程序控溫儀表

1、高精度的溫度儀表,LCD液晶顯示屏,5位數(shù)值顯示,通過快速設置配置簡單,C/F單位切換

2、1組程序8步,共4組程序

3、具有過溫保護 斷偶保護,過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當電爐溫度超過900度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

4、支持各種通訊接口 Modbus, Ethernet, Profibus,Devicenet,可以與任意PLC或上位系統(tǒng)集成

5、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

6、儀表具有溫度自整定的功能

                                 

       歐陸儀表    

工作溫度 每個加熱器溫度≤900℃,兩個加熱器之間的溫差≤300℃ 
 真空泵 機械泵型號:BSV30 
抽速:8L/s 
 功率:1.1KW

冷水機    

         CW6200

      

 電源

3PH-380V/50HZ

 總功率

8KW

 揚程

 30M

冷凍水量

2.8m3/h

 水箱容量

 110L

 制冷量

13244Kcal/h

 出入水口

 Rp1/2’’

 機器尺寸

1300×650×1145(長X寬X高)

 

 

真空蒸鍍設備主要由真空室和抽真空系統(tǒng)組成,真空室內有蒸發(fā)源(即蒸發(fā)加熱器)、基片及基片架、基片加熱器、排氣系統(tǒng)等。

將鍍膜材料置于真空室內的蒸發(fā)源中,在高真空條件下,通過蒸發(fā)源加熱使其蒸發(fā),當蒸氣分子的平均自由程大于真空室的線性尺寸以后,膜材蒸氣的原子和分子從蒸發(fā)源表面逸出后,很少受到其他分子或原子的碰撞與阻礙,可直接到達被鍍的基片表面上,由于基片溫度較低,膜材蒸氣粒子凝結其上而成膜。

為了提高蒸發(fā)分子與基片的附著力,可以對基片進行適當?shù)募訜峄螂x子清洗使其活化。真空蒸發(fā)鍍膜從物料蒸發(fā)、運輸?shù)匠练e成膜,經歷的物理過程如下:

(1)利用各種方式將其他形式的能量轉換成熱能,加熱膜材使之蒸發(fā)或升華,成為具有一定能量(0.1~0.3eV)的氣態(tài)粒子(原子、分子或原子團):

(2)氣態(tài)粒子離開膜材表面,以相當?shù)倪\動速度基本上無碰撞的直線輸運到基片表面;

(3)到達基片表面的氣態(tài)粒子凝聚形核后生長成固相薄膜;

(4)組成薄膜的原子重組排列或產生化學鍵合

 

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