高精度氣體分析儀 HiQuad™
伯東公司普發(fā) Pfeiffer 高精度氣體分析儀 HiQuad™, 可實現(xiàn)達 125μs / amu 的測量速度, 使用 Quadera® 軟件, 操作簡單. 質(zhì)譜分析儀模塊化設(shè)計方便集成, 根據(jù)實際需要可以自由選擇質(zhì)量范圍, 桿直徑, 離子源, 探測器和界面.
Pfeiffer 質(zhì)譜分析儀 HiQuad™優(yōu)勢
1. 模塊化設(shè)計靈活
2. 使用 Quadera® 軟件, 操作簡單
3. 的測量速度, 達 125μs/ amu
4. 的靈敏度且動態(tài)范圍寬
5. 內(nèi)置的互聯(lián)網(wǎng)瀏覽器和 OPC 服務(wù)器用于與基于 PC 的程序進行通信
質(zhì)譜分析儀 HiQuad™ 技術(shù)規(guī)格
| 質(zhì)量數(shù) amu | 1-128 | 1-300 | 1-512 *3) |
| 檢測限 mbar | 5X10-16 | 2X10-15 | 1X10-15 |
| Ar 靈敏度, *1) A/mbar | 1X10-3 | 2X10-4 | 5X10-4 |
| 操作壓力 mbar | |||
| 法拉第 | 1X10-4 | 1X10-4 | 1X10-4 |
| SEM | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 |
| 分壓比 SEM ppb | < 0.3 | < 1 | < 0.5 |
| 分析儀 | QMA 410 | QMA 430 | QMA 400 |
| 桿系統(tǒng), 材料 / 直徑 mm | Mo / 16 | 不銹鋼 / 8 | Mo / 8 |
| 射頻發(fā)生器 (RF) | QMH 400-1 | QMH 400-5 | QMH 400-5 |
| 靜電計前置放大器 | EP 422 | EP 422 | EP 422 |
| 工作溫度 / 分析儀°C | 150 | 150 | 150 |
| 烘烤溫度 / 分析儀 *2) °C | 400 | 400 | 400 |
| 連接法蘭 | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | DN 63 CF-F |
*1) 偏轉(zhuǎn)單元中的法拉第,標準分辨率,帶磁鐵的交叉束離子源,發(fā)射 1 mA
*2) 帶磁鐵, 300°C
*3) 八小時內(nèi)穩(wěn)定性 < 0.1％, 有助于對相鄰質(zhì)量數(shù) 40Ar / 41
Pfeiffer 質(zhì)譜分析儀 HiQuad™應(yīng)用
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