氨氣(NH3)是一種重要的化工原料,具有較強的腐蝕性和毒性,也是重要的污染性氣體。高精度ProCeas®氨氣(NH3)分析儀專為準(zhǔn)確測量大氣和潔凈空間環(huán)境中低本底氨氣而設(shè)計,具有檢測低限低、測量精度高、漂移小的特點。ProCeas®氨氣(NH3)分析儀是一款預(yù)校準(zhǔn)的紅外激光光譜氣體分析儀,基于光反饋腔增強吸收光譜(OF-CEAS)來加強分析目標(biāo)的特異性、分辨性、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。該分析儀能以更高的精度測量氨氣氣體,具有較高的采集頻率(1Hz),25ml的測量腔室有利于在較低的氣體流速下獲得較高的周轉(zhuǎn)速率,更能保證獲得準(zhǔn)確的壓力和溫度控制,特殊設(shè)計的低吸附管路和測量腔能進一步提高設(shè)備的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
ProCeas® 氨氣(NH3)分析儀是一套完整、可靠、耐用、易操作的高精度的在線NH3氣體分析儀,可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、廢氣排放、純凈氣體制備以及環(huán)境氣體等各領(lǐng)域。
技術(shù)原理
腔增強吸收光譜(Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy, CEAS)是基于傳統(tǒng)光腔衰蕩光譜技術(shù)(Cavity Ring-Down Spectroscopy,CRDS)技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展的一種高靈敏度檢測技術(shù)。腔增強吸收光譜(CEAS)技術(shù)基于高品質(zhì)光學(xué)諧振腔的弛豫效應(yīng),通過諧振來延長有限腔體內(nèi)的光譜吸收有效路徑,依據(jù)鏡面反射率,其有效吸收路徑可達幾十千米,大大提高了檢測靈敏度。與傳統(tǒng)的CRDS不同,CEAS 測量的是經(jīng)過諧振腔的透射光強,而CRDS 測量的是光強的衰減時間。CEAS在保持測量精度的同時,無需對激光進行快速關(guān)斷,使得光譜分析儀結(jié)構(gòu)更為簡潔、系統(tǒng)更為穩(wěn)定。光反饋(Optical-feedback,OF)是CEAS鎖定的一種有效方法。
AP2E擁有OF-CEAS技術(shù)(WO),同時擁有的低壓采樣技術(shù)(WO2010058107),二者的結(jié)合,為高品質(zhì)氣體采樣和分析提供了技術(shù)保障。產(chǎn)品優(yōu)勢
- 直接抽氣測量,無需樣品預(yù)處理
- 具有自校準(zhǔn)功能,無需跨度標(biāo)準(zhǔn)氣
- 結(jié)構(gòu)簡潔,系統(tǒng)穩(wěn)定,無事實漂移
- 的低壓取樣,防止冷凝水侵?jǐn)_
- 通過替代材料驗證測量,品質(zhì)優(yōu)異
- 運行平穩(wěn),以年為周期的維護需求
性能指標(biāo)
大氣中NH3測量 | |
低檢出限(3σ, 300秒) | <0.05 ppb |
精度(1σ) | 0.3 ppb+0.1%讀數(shù) @ 1s 0.09 ppb+0.1%讀數(shù) @ 10s 0.015 ppb+0.1%讀數(shù) @ 300s |
零點漂移(72h) | ± 0.20 ppb |
測量間隔 | 1 s |
響應(yīng)時間/下降時間(10-90%) | < 90 s |
測量范圍 | 0~1000 ppb(確保范圍) 0 ~ 10 ppm(操作范圍) |
可選測量氣體 | N2O:0 ~ 50 ppm CH4:0 ~ 50 ppm H2O:0 ~ 5% |
系統(tǒng)規(guī)格 | |
技術(shù)原理 | OF-CEAS (WO ) |
高反射鏡 | 3面高反鏡,反射率>99.999% |
測量腔溫度控制 | ± 0.002 K @ 1s & 0.00005 K @ 30 min |
測量腔壓力控制 | ± 0.016 mbar |
取樣溫度 | -10 ~ 45 °C (temperature) |
取樣濕度 | < 99% RH,無冷凝 |
取樣流速 | > 400 ml/min |
數(shù)據(jù)輸出 | 以太網(wǎng),ModBus (TCP/IP, RS),模擬,USB |
供電 | 110 ~ 230 VAC, 50 ~ 60 Hz |
功耗 | 150 VA |
尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)19英寸機架,4U |
重量 | 20kg |
生產(chǎn)廠家:法國 AP2E