- 上傳成功 Spectrally resolved measurement of small optical losses by cavity enhanced spetroscopy techniques
- Spectrally resolved cavity ring down measurement of high refelctivity mirrors using a supercontinuum laser source
針對(duì)高反射率(R>99.7%)的光學(xué)樣品,德國(guó) IPHT Jena研發(fā)了光腔衰蕩光譜法(Cavity Ring-Down Spectroscopy,CRDS)反射率測(cè)量測(cè)量系統(tǒng), 它通過(guò)對(duì)指數(shù)型腔內(nèi)衰蕩信號(hào)的檢測(cè), 消除了傳統(tǒng)檢測(cè)方法中激光能量起伏所引起的誤差, 大大提高了測(cè)量精度。
測(cè)量原理
當(dāng)一束脈沖激光沿著光軸入射到光腔內(nèi),忽略衍射及散射損耗,單色脈沖光在兩個(gè)腔鏡之間往返振蕩,每經(jīng)過(guò)一次循環(huán)透射出部分光,探測(cè)器通過(guò)接收光脈沖信號(hào)得到其以單指數(shù)形式衰減。
τ為衰蕩時(shí)間,指光子出射脈沖光強(qiáng)衰減為初始光強(qiáng)的1/e時(shí)經(jīng)歷的時(shí)間。C代表光速,L是代表腔長(zhǎng),RM是兩個(gè)腔鏡的幾何平均反射率,散射V和吸收系數(shù)α忽略不計(jì)。則,衰蕩時(shí)間τ表示為:
從公式上可知:
1)腔內(nèi)損耗越小,反射率越高,衰蕩時(shí)間越長(zhǎng)。
2)在已知參考片的反射率Rref 前提下,可求得要待測(cè)樣品的反射率R。
一、 德國(guó)IPHT CRD高反射率測(cè)量系統(tǒng)
1. CRD系統(tǒng)介紹
系統(tǒng)包含
1. 激光光源
2. 光學(xué)零部件
3. A/D轉(zhuǎn)換器
4. 探測(cè)系統(tǒng)
系統(tǒng)要求 | 詳細(xì)說(shuō)明 |
激光器波長(zhǎng)范圍 | 400nm-1064nm內(nèi)常見(jiàn)激光波長(zhǎng) |
激光器工作模式 | 脈沖 |
測(cè)量角度范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)0°;45°選配 |
反射率測(cè)量范圍 | 99.9%-99.995% |
測(cè)量精度 | 反射率精度取決于待測(cè)樣品反射率,精度為(1-R)*10% |
樣品類型 | 平平/平凹鏡(凹面的曲率半徑≥500mm),平面拋光,凹面鍍高反,反射率R在99.9%...99.995%范圍內(nèi) |
樣品尺寸要求 | 標(biāo)準(zhǔn)即1英寸;半英寸/50mm可選(直徑要求可根據(jù)客戶需求定制) 標(biāo)準(zhǔn)厚度:1/4英寸(5-7mm可選) |
應(yīng)用:
精確檢測(cè)高反射率激光腔鏡的反射率,尤其對(duì)于反射率大于99.9%的腔鏡測(cè)量具有更好的效果。