VAC-W系列HMDSyuchuli真空烤箱用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。設(shè)備由腔體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空,150oC熱氮加熱,既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護(hù)膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對(duì)人體無害的顯著優(yōu)點(diǎn);也可用于晶片其它工藝的清洗??刂撇捎肞LC,人機(jī)界面采用觸摸屏,具有可靠性高,操作方便、直觀等特點(diǎn)。
標(biāo)準(zhǔn)功能:
u LCC臨時(shí)高達(dá)500°F(260°C)的LCD溫度。高達(dá)662°F(350°C)
u 真空度可達(dá)1托(133Pa)
u 不銹鋼內(nèi)部和外部,所有內(nèi)部接縫連續(xù)焊接在絕緣側(cè),以保護(hù)腔室免受污染
u 制具有大型LCD顯示屏,集成數(shù)據(jù)記錄功能和USB端口,可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的烤箱設(shè)置和數(shù)據(jù)導(dǎo)出
u Modbus通信連接,用于遠(yuǎn)程監(jiān)控和記錄
u 循環(huán)結(jié)束和高限制聲光報(bào)警
u 可編程門鎖
u 開放式控制面板
選項(xiàng):
u 數(shù)據(jù)采集軟件
u 無油真空泵
u 自動(dòng)HMD添加裝置
u 符合CE標(biāo)準(zhǔn)