Ø 測量范圍
項目 | 測量范圍 | 分辨率 |
驅動器 | 120mm | 0.05μm |
傳感器 | 30mm | 0.05μm |
立柱 | 420mm | - |
Ø 技術規(guī)格
技術參數 | 線性精度1 | ±(0.8+|0.15H|)μm |
圓弧2 | ±(1.5+R/12)μm | |
角度3 | ±1′ | |
直線度4 | 0.5μm/100mm | |
運動控制 | X軸驅動方式 | 電動 |
Z軸驅動方式 | 電動 | |
X軸驅動速度 | 0.05~20mm/s | |
Z軸驅動速度 | 0.2-20mm/s |
Ø 設備配置
類別 | 部件名稱 | 規(guī)格號 | 數量 |
主機部分 | 一體式人體工學機臺 | cp-mp2 | 一套 |
高速型立柱 | cp-cn-wr | 一套 | |
低噪驅動器 | dp-d-cspm | 一套 | |
低噪數字式輪廓傳感器 | cp-ztr-chpd | 一套 | |
電器控制系統(tǒng) | cp-mc | 一套 | |
軟件 | CAS | 一套 | |
附件 | 電腦 | cp-01 | 一套 |
打印機 | pr-1 | 一套 | |
調整臺 | cp-br-150 | 一套 | |
精密正弦平臺鉗 | fq-4 | 一套 | |
工具箱 | tb-10 | 一套 | |
校正標準件 |
| 一套 | |
輪廓標配測桿 | D8-4-32-200 | 一支 | |
單切面測針 | 4D-32-17 | 一支 |
Ø 設備尺寸
外形尺寸(mm) | 主機重量 (Kg) | ||
Lx | Ly | Lz | |
1400 | 850 | 1780 | 350 |