特點(diǎn):
◆介質(zhì)和基底的表面粗糙度測(cè)量
◆缺陷成像和分析
◆高分辨率電子掃描模式
◆3D結(jié)構(gòu)邊墻測(cè)量
◆精確的原子力顯微鏡形貌和低噪音Z探測(cè)器
規(guī)格參數(shù):
型號(hào) | Park NX20 | |
掃描儀 | XY掃描儀 | 100um*100um(可選10um*10um或50um*50um) |
Z掃描儀 | 15um(可選30um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(標(biāo)準(zhǔn)值0.02nm) | |
光學(xué) | 物鏡 | 10X(20X可選) |
電子 | ADC | 18個(gè)頻道 4個(gè)高速ADC頻道(50MSPS)24位ADC的X,Y和Z位置傳感器 |
DAC | 12個(gè)頻道 2個(gè)高速DAC頻道(50MSPS)20位DAC的X,Y和Z定位3個(gè)頻道的集成鎖定放大器 | |
樣品臺(tái) | XY平臺(tái)行程 | 150mm x 150mm;200mm X 200mm |
Z平臺(tái)行程 | 25mm | |
聚焦平臺(tái)行程 | 15mm | |
樣品尺寸 | 高達(dá)150mm或直徑200mm最多厚20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 820mm(長(zhǎng))X920mm(寬)X1280mm(高) |