系統(tǒng):
◆測量功能:精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
◆測量技術(shù):機(jī)械相移干涉測量(PSI)
◆校準(zhǔn)系統(tǒng) :快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
◆測量光束直徑 :4″(102mm)或6″(152mm)
◆對準(zhǔn)視場范圍FOV :4″:±3°;6″:±2°;
◆光學(xué)中心線 :4.25″(108mm)
◆激光光源:大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,III
◆波長: 633 nm
◆頻率穩(wěn)定度: < 0.0001 nm
◆相干長度 :>100m
◆成像分辨率 :1000 x 1000 像素
◆幀速 :43Hz
◆數(shù)據(jù)采集時(shí)間 :302ms
◆數(shù)據(jù)模式: 8位
◆放大 :電控?cái)?shù)顯放大1-5X
◆偏振 :接近圓偏振(1.2:1或者更好)
◆光曈調(diào)焦范圍: 4″:±2.5m;6″:±5.5m;
◆計(jì)算機(jī)和軟件 :高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9
◆安裝構(gòu)造 :水平臥式或垂直立式
◆附件 :詳細(xì)參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募琌MP-0463
◆尺寸(長x寬x高): 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
性能參數(shù):
◆RMS重復(fù)性: < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
◆RMS波前重復(fù)性:< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
◆像素峰值偏差:< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
工作環(huán)境:
◆溫度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)
◆溫度變化率: <1.0°C/15min
◆濕度:相對濕度5% - 95% , 無凝結(jié)
◆隔振:機(jī)械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。