傳感器單元SW1-N1/SW1-N2
本真空計屬皮拉尼真空計,可測量的壓力范圍從大氣壓至5×10-2Pa。
本真空計從控制面板上去除了操作及顯示部分,只保留了必要的功能,從而降低了價格,使外形更小巧。
典型用途
· 可用于半導體、電子原件為首的各種制造裝置的低真空領(lǐng)域的過程管理;
· 可用于真空爐為首的各種產(chǎn)業(yè)機器的低真空領(lǐng)域的過程管理;
· 可用于連續(xù)性、多樣性工作室的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的過程管理。
特 點
可測量范圍廣:從大氣壓至5×10-2Pa
傳感器與控制部一體化:節(jié)省空間、降低能耗