益處
- HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統安裝與設置的復雜性
- 高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內的壓力，進而改善過程控制
- 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
- 皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節(jié)，減少操作員干預
- RoHS 合規(guī)
典型應用
- 半導體制造、電子和媒介產業(yè)中的濺射應用
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和高真空范圍內的一般真空測量和控制
規(guī)格
類型
HPG400
測量范圍（空氣，N2）
2×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴
% of reading
±15 (1)
可重復性
10-5 … 10-1 毫巴
% of reading
2
10-1 … 100 毫巴
% of reading
30
熱離子發(fā)射，可選：
選購件 1
mbar
1
選購件 2
mbar
5×10-1
選購件 3
mbar
2×10-1
選購件 4
mbar
1×10-1
選購件 5
mbar
5×10-2
壓力，更大
bar (absolute)
2
溫度
運行（環(huán)境）
°C
0 … +50
貯存
°C
-20 … +70
在法蘭處烘烤
°C
80
移除烘烤電子設備
°C
150
電源電壓
20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號
V
0 … +10.2
測量范圍熱陰極
V
1.5 … 7.5
測量范圍皮拉尼
V
8.5 … 9.75
電壓比壓強熱陰極
volts per decade
1
電壓與壓強皮拉尼
volts per decade
0.25
錯誤信號熱陰極
V
0.3
錯誤信號皮拉尼
V
0.5
更小負載電阻
kΩ
10
接口（數字）(2)
RS232C
電氣連接
D-Sub, 15-pin, male
電纜長度，更大 (3)
m (ft.)
100 (330)
暴露于真空的材料
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF
cm3 (in.3)
20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF
g
430 / 695
保護等級
IP30
DeviceNet™
協議
DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關
kBaud
125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps
m (ft.)
500 (1650)
電纜長度 250 kbps
m (ft.)
250 (825)
電纜長度 500 kbps
m (ft.)
100 (330)
MAC ID
2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網絡規(guī)模
up to 64 nodes per segment
數字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器
LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規(guī)格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型
''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊
polling only
設定點繼電器： 設定點數量
2
設定點繼電器： 范圍
mbar
2×10-6 … 100
設定點繼電器： 繼電器觸點
n.o., potential free
設定點繼電器： 滯后
% of reading
10
設定點繼電器： 觸點額定值
60
DeviceNet™ 電源電壓
11 … 25
真空計電源電壓
V (dc)
20 … 28
DeviceNet™ 連接器
Microstyle, 5-pin
HPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器
D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器： 設定點數量
2
設定點繼電器： 范圍
mbar
2×10-6 … 100
設定點繼電器： 繼電器觸點
n.o., potential free
設定點繼電器： 滯后
% of reading
10
設定點繼電器： 觸點額定值
60
Profibus DP 連接器
D-Sub, 9-pin, female
HPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器
D-Sub, 15-pin, male
(1) 精度從 10-5 毫巴至所選熱離子排放值
(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現場總線
(3) 適用于 RS232C 運行 <30m
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