益處
- 測(cè)量范圍廣，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
- 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
- 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供優(yōu)良的點(diǎn)火屬性
- 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn)，即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中
- 陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換
- 極小化真空計(jì)附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度
- 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器
- 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
- 現(xiàn)場(chǎng)總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中
典型應(yīng)用
- 高真空壓力監(jiān)控
- 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
- 高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
規(guī)格
類型
PEG100
測(cè)量范圍
1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度
10-8 至 10-4 毫巴
% of reading
±30
壓力，更大（**）
bar
10
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）
°C
+10 to +50
貯存
°C
-20 to +75
無(wú)電子設(shè)備，烘烤
°C
350
帶電子元件，在法蘭處烘烤
°C
70
供應(yīng)
電壓
V (dc)
14.5 to 36
消耗，更大
W
<2
輸出信號(hào)模擬
輸出信號(hào)
V
0 to 10.6
測(cè)量范圍
V
0.66 to 10
電壓與壓強(qiáng)之間的關(guān)系
volts per decade
1.333
連接器
FCC 68, female, 8 pin (shielded)
電纜長(zhǎng)度，更大（模擬）
m (ft.)
100 (330)
暴露于真空的材料
Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
內(nèi)部容積
cm3 (in.3)
21 (1.28)
重量，接近
g
500
保護(hù)類型
IP40
DeviceNet™
設(shè)備類型
generic
顯示對(duì)等網(wǎng)絡(luò)傳訊
no
I / O 對(duì)等傳訊
no
配置一致性值
no
默認(rèn)節(jié)點(diǎn)恢復(fù)
no
波特率
kBaud
125 / 250 / 500
主板 / 掃描器
no
I / O 從屬傳訊： 位觸發(fā)
yes
I / O 從屬傳訊： 輪詢
yes
I / O 從屬傳訊： 周期
yes
I / O 從屬傳訊： 狀態(tài)改變 (COS)
yes
DeviceNet™ 電源
V (dc)
11 to 25
DeviceNet™ 連接器
Phoenix Combicon, 5 pin
Profibus DP
支持的波特率（自動(dòng)檢測(cè)）
kBaud
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
擴(kuò)展的用戶參數(shù)數(shù)據(jù)
byte
5
配置： 輸入輸出數(shù)據(jù)數(shù)量
2
同步模式和凍結(jié)模式
Yes
Profibus 的連接器
D-sub, 9 pin
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