L200/L300尼康半導(dǎo)體顯微鏡

Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡專為8寸晶圓及大面板LCD/TFT產(chǎn)業(yè)開發(fā)設(shè)計。同樣采用*的CFI60無窮遠(yuǎn)高對比度光學(xué)系統(tǒng)，并提供高達(dá)25mm的廣闊視野。

◆L200：表面落射，L200D：表面落射/ 底部透射

◆倍率：25×-1500× （明暗場可以選擇）

◆專配L2-S8 8x8 移動載物臺（移動范圍200X200mm）

◆8寸晶片（可加裝**的Wafer holder ）

◆可以選配**偏光（Polarizer）

◆可以選配微分干涉棱鏡（DIC）

◆可以附加NIKON **數(shù)碼相機(jī)及CCD影像擴(kuò)展

◆可以選配**半導(dǎo)體8寸晶片自動裝載機(jī)配合使用
 

L300/L300D尼康半導(dǎo)體顯微鏡

L300                                                                         L300D

Nikon L300/L300D高倍金相顯微鏡專為12寸晶圓及大面板LCD/TFT產(chǎn)業(yè)開發(fā)設(shè)計。同樣采用*的CFI60無窮遠(yuǎn)高對比度光學(xué)系統(tǒng)，并提供高達(dá)25mm的廣闊視野。

◆L300：300 mm硅片， L300D：300 mm硅片或17″FPD。

◆觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

◆使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，*消除耀斑影響，對比度更高，成像更加清晰、明亮；

◆物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求；

◆主機(jī)剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

◆采用可調(diào)心的6孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器；

◆光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞；

◆DIC觀察采用全體物鏡共用物鏡轉(zhuǎn)換器內(nèi)的諾曼斯基棱鏡，結(jié)構(gòu)簡單，成像質(zhì)量高。