手動納米平臺
手動納米平臺是西格瑪光機(jī)全新概念的，全新產(chǎn)品，至今還沒有確定上市時間，此款平臺在普通的手動微分頭和平臺臺面之間，加裝一個壓電陶瓷模塊，該壓電陶瓷模塊，有一組手動鈕控制，一個鈕對應(yīng)一個軸，實(shí)現(xiàn)平臺臺面位置的納米分辨率的微調(diào)，不僅如此，它既有大行程（6mm），又有高精度（＜20nm），還有小體積（25*25臺面可選），實(shí)現(xiàn)了手動平臺超高分辨率調(diào)整的理想手段。
技術(shù)指標(biāo)：
指標(biāo)項(xiàng)目 | 臺面尺寸 | 口25mm | 口40mm
| 口60mm |
行程 | 粗調(diào)（mm） | 6 | 13 | 13 |
微調(diào)（μm） | 30~50 | 30~50 | 30~50 | |
分辨率 | 粗調(diào)（mm） | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
微調(diào)（nm） | <20 | <20 | <20 | |
承載能力 | X/XY 軸（kg） | 2 | 3 | 5 |
Z軸（kg） | 1 | 1 | 1 |
*粗調(diào)：普通微分頭
微調(diào)：壓電陶瓷
手調(diào)控制器類型：1軸用，3軸用
實(shí)測數(shù)據(jù)圖：
重要信息：
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