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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
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更新時(shí)間2021/7/16 20:25:16
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計(jì)組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊商標(biāo)。同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化，為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實(shí)驗(yàn)耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

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電子顯微鏡

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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，實(shí)現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升，采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡產(chǎn)品信息

JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

· *的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。

產(chǎn)品規(guī)格：

產(chǎn)品特點(diǎn)：

*的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點(diǎn)如下：

◇ 半浸沒式物鏡

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場，因而可以獲得超高分辨率。

◇ High Power Optics

High Power Optics 是*的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。

光闌角控制鏡（ACL）

光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個(gè)探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。

即使探針電流很大，束斑直徑也很小

長時(shí)間分析時(shí)穩(wěn)定度也很高

浸沒式消特基場發(fā)射電子槍能獲得穩(wěn)定的電子探針

◇ 柔和電子束（GB:GENTLEBEAM^TM）模式

柔和的電子束模式（GB模式）通過給樣品添加負(fù)電壓，從而使電子束在進(jìn)行高分辨觀察。

由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小，就會容易地觀察樣品淺表面的精細(xì)結(jié)構(gòu)，能減少對熱敏樣品的的損傷，可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。

JSM-7610Plus 在GB模式下（1KV）的分辨率為1.0nm

GB 模式的效果

GB 模式在低電壓下提高分辨率

左圖一般模式，右圖GB模式

增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率

◇ r-過濾器

新一代 r-過濾器是由二次電子控制電極，背散射電子控制電極，過濾器電極組合而成的*的能量過濾器。當(dāng)電子束照射樣品時(shí)，從樣品表面會釋放出各種能量的電子，新一代r-過濾器 通過組合多個(gè)靜電場使電子束保持在透射系同時(shí)還對樣品中產(chǎn)生的二次樣品和背散射電子進(jìn)行選樣和檢測。

新新一代 r-過濾器最多能獲得3倍于舊機(jī)型的信號量。