應用場合
◆半導體產業(yè)
◆高純焊接
◆惰性氣體凈化
◆氣瓶柜
◆氣體分析儀器
◆研究與開發(fā)
凈化/過濾氣體清單 | |||
惰性氣體 | 氫和氫化物 | 腐蝕性氣體 | 氧氣 |
不純物去除 H2O, O2, CO, CO2, H21 (N2, CH4)2 | 不純物去除 H2O, O2, CO2, CO (N2) 3 | 不純物去除 H2O | 不純物去除 H2O, CO2(H2, CO, CH4)4 |
Ar,Ar/CH4 He,CH4 Ne,CF4 Kr,CCL4 Xe,SF6 N2,Freons | H2,As/H3 Ar/H2,PH3 N2/H2,NH3 SiH4,B2H6 Si2H6,H2Se D.C.S.,GeH4 | HBr HCl BCL3 BF3 CL2 HF | O2 Air N20 |