■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔(dān)憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■ 安全性·保護
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護裝置。
● 發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調(diào)低頻率來保護發(fā)生器。
● 門鎖開關(guān)：門在未*關(guān)閉時無法啟動電源。
● 側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時，會停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。
● 運行中ERR報警：運行中出現(xiàn)以下問題設(shè)備會出現(xiàn)ERR報警，并停止裝置：RF輸出值與設(shè)定值不符，氣體流量值與設(shè)定值不符，RF反射波超過一定范圍，真空度未達到設(shè)定值，等離子處理后，設(shè)定時間內(nèi)，未恢復(fù)到大氣壓。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
規(guī)格：
型號 | PR1000 | |
方式 | DP模式、圓柱形腔體 | |
性能 | 發(fā)生器功率： | 0-1000W |
發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式： | 自動匹配（Auto matching) | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì)： | 石英 |
腔體內(nèi)尺寸： | φ400×L500mm 約62.8L | |
反應(yīng)氣體： | 雙路工藝氣體，其中一路可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體，一路防腐蝕氣路支持CF4. | |
填充氣體： | 一路氮氣 | |
控制方式： | 全自動控制，7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示： | 測量高真空的電離式真空計標(biāo)準(zhǔn)配備，實時顯示腔體內(nèi)真空度 | |
配管材質(zhì)： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門： | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色： | 標(biāo)準(zhǔn)色，白系 | |
外形尺寸： | W800×D919×H1958mm （高度含警報燈） | |
真空泵： | 無油干式真空泵 抽速60m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
電源規(guī)格： | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量： | 約215kg | |
附屬品 |
| 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚 |
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