■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計,實時顯示真空度,使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔(dān)憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■ 安全性·保護
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報,可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器,以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護裝置。
● 發(fā)生器保護回路:超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時,可自動調(diào)低頻率來保護發(fā)生器。
● 門鎖開關(guān):門在未*關(guān)閉時無法啟動電源。
● 側(cè)板鎖:本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時,會停止電源。
● 緊急停止按鍵(EMO)標(biāo)準(zhǔn)配備。
● 運行中ERR報警:運行中出現(xiàn)以下問題設(shè)備會出現(xiàn)ERR報警,并停止裝置:RF輸出值與設(shè)定值不符,氣體流量值與設(shè)定值不符,RF反射波超過一定范圍,真空度未達到設(shè)定值,等離子處理后,設(shè)定時間內(nèi),未恢復(fù)到大氣壓。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應(yīng)用范圍廣。
●對清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護措施綿密,有效防止對機器以及樣品的損害。
規(guī)格:
型號 | PR1000 | |
方式 | DP模式、圓柱形腔體 | |
性能 | 發(fā)生器功率: | 0-1000W |
發(fā)生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式: | 自動匹配(Auto matching) | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì): | 石英 |
腔體內(nèi)尺寸: | φ400×L500mm 約62.8L | |
反應(yīng)氣體: | 雙路工藝氣體,其中一路可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體,一路防腐蝕氣路支持CF4. | |
填充氣體: | 一路氮氣 | |
控制方式: | 全自動控制,7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示: | 測量高真空的電離式真空計標(biāo)準(zhǔn)配備,實時顯示腔體內(nèi)真空度 | |
配管材質(zhì): | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門: | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色: | 標(biāo)準(zhǔn)色,白系 | |
外形尺寸: | W800×D919×H1958mm (高度含警報燈) | |
真空泵: | 無油干式真空泵 抽速60m3/hour,吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
電源規(guī)格: | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量: | 約215kg | |
附屬品 |
| 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚 |