基于的MEMS硅微加工技術(shù),壓阻式加速度傳感器具有體積小、低功耗等特點,易于集成在各種模擬和數(shù)字電路中,廣泛應(yīng)用于汽車碰撞實驗、測試儀器、設(shè)備振動監(jiān)測等領(lǐng)域。7701A4高精度微型加速度傳感器
電容式加速度傳感器是基于電容原理的極距變化型的電容傳感器。電容式加速度傳感器/電容式加速度計是對比較通用的加速度傳感器。在某些領(lǐng)域*,如安全氣囊,手機移動設(shè)備等。電容式加速度傳感器/電容式加速度計采用了微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝,在大量生產(chǎn)時變得經(jīng)濟,從而保證了較低的成本。
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伺服式加速度傳感器是一種閉環(huán)測試系統(tǒng),具有動態(tài)性 能好、動態(tài)范圍大和線性度好等特點。其工作原理,傳感器的振動系統(tǒng)由 "m-k”系統(tǒng)組成,與一般加速度計相同,但質(zhì)量m上還接著一個電磁線圈,當(dāng)基座上有 加速度輸入時,質(zhì)量塊偏離平衡位置,該位移大小由位移傳感器檢測出來,經(jīng)伺服放大器 放大后轉(zhuǎn)換為電流輸出,該電流流過電磁線圈,在磁鐵的磁場中產(chǎn)生電磁恢復(fù)力,力圖使質(zhì)量塊保持在儀表殼體中原來的平衡位置上,所以伺服加速度傳感器在閉環(huán)狀態(tài)下工作。由于有反饋作用,增強了抗干擾的能力,提高測量精度,擴大了測量范圍,伺服加速度 測量技術(shù)廣泛地應(yīng)用于慣性導(dǎo)航和慣性制導(dǎo)系統(tǒng)中,在高精度的振動測量和標(biāo)定中也有應(yīng)用。
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