加速度傳感器,包括由硅膜片、上蓋、下蓋,膜片處于上蓋、下蓋之間,鍵合在一起;一維或二維納米材料、金電極和引線分布在膜片上,并采用壓焊工藝引出導(dǎo)線;工業(yè)現(xiàn)場測振傳感器,主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應(yīng)得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業(yè)現(xiàn)場典型采用IEPE型加速度傳感器,及內(nèi)置IC電路壓電加速度傳感器,傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號。
7503D3三軸可變電容加速度傳感器
在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器,同樣的它是基于加速度的基本原理去實現(xiàn)工作的,加速度是個空間矢量,一方面,要準確了解物體的運動狀態(tài),必須測得其三個坐標軸上的分量;另一方面,在預(yù)先不知道物體運動方向的場合下,只有應(yīng)用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的,因此用三軸加速度傳感器可以實現(xiàn)雙軸正負90度或雙軸0-360度的傾角,通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。
7503D3三軸可變電容加速度傳感器